采用ArF、KrF作为增益介质，是产生大能量、重复频率输出的193nm、244nm激光输出的主要手段。短波长激光器对材料有良好的冷剥离能力，同时成像分辨率较高，广泛用于微加工、掩膜刻写、激光烧蚀等领域。
德国ATLLasertech公司成立于1993年，1994年生产出全球第一套准分子激光器；现在，ATL公司专业生产小型化、高重频、短脉冲准分子激光器。
主要应用：
※眼科手术
※玻璃及塑料微加工
※微制造
※激光剥蚀
※TOF质谱
※FBG刻写
ATL提供ATLEX、专用于FBG刻写的ATLEX-FBG系列，低负荷的ATLEX-LR系列，以及非常紧凑的ATLEX-S系列。产品采用一系列独到的设计以满足工业级应用需求。
主要特点
※软电晕预电离
※全固态高压脉冲发生器
※激光头容积<3L
※全金属-陶瓷管路
※集成真空泵及卤素过滤器
※全风冷，主动热管理
※RS485，RS232，USB以及光纤接口
※可冲洗光具座
※能量稳定模式
※能量稳定模式
1.ATLEX-I系列
ATLEX-I依据重复频率的不同，分为ATLEX-300-I、ATLEX-500-I、ATLEX-1000-I三个型号。
增益介质 | F2 | ArF | KrF | XeCl | XeF | |
波长(nm) | 157 | 193 | 248 | 308 | 351 | |
高压开关技术 | 固态开关 | |||||
最高脉冲能量(mJ) | 1 | 10 | 15 | 8 | 7 | |
最高平均功率(W) | ATLEX-300-I | 0.2 | 2.4 | 4.0 | 2.0 | 1.7 |
ATLEX-500-I | 0.5 | 4.0 | 6.5 | 3.0 | 2.5 | |
ATLEX-1000-I | N/A | 8 | 10 | N/A | N/A | |
最高重频(Hz) | ATLEX-300-I | 300 | ||||
ATLEX-500-I | 500 | |||||
ATLEX-1000-I | 1000 | |||||
脉冲宽度(ns) | 5-8 | |||||
光束尺寸(mm) | 4×6 | |||||
光束发散角(mrad) | 1×2 | |||||
能量稳定性(rms) | 3% | |||||
外形尺寸(mm,L×W×H) | 540×470×300 | |||||
2.ATLEX-FBG系列
ATLEX-FBG系列专为FBG刻写设计，具备较好的空间相干性指标。ATLEX-FBG共300、500两个型号。
增益介质 | ArF | KrF | |
波长(nm) | 193 | 248 | |
高压开关技术 | 固态开关 | ||
最高脉冲能量(mJ) | 10 | 15 | |
空间相干性(光斑竖直方向)(um) | >300 | ||
最高平均功率(W) | ATLEX-300-I | 2.4 | 4.0 |
ATLEX-500-I | 4.0 | 6.5 | |
最高重频(Hz) | ATLEX-300-I | 300 | |
ATLEX-500-I | 500 | ||
脉冲宽度(ns) | 5-8 | ||
光束尺寸(mm) | 4×6 | ||
光束发散角(mrad) | 1×2 | ||
能量稳定性(rms) | 3% | ||
外形尺寸(mm,L×W×H) | 540×470×300 | ||
3.ATLEX-LR系列
ATLEXLR系列适合低负荷使用，专门为激光剥蚀(LaserAblation)设计。激光为193nm输出优化，同时具有非常快的上升沿和高峰值功率。
增益介质 | ArF |
波长(nm) | 193 |
高压开关技术 | 固态开关 |
最高脉冲能量(mJ) | 12 |
能量稳定选项输出(mJ) | 10 |
脉冲宽度(ns) | 5 |
光束尺寸(mm) | 4×6 |
光束发散角(mrad) | 1×2 |
能量稳定性(rms) | 3% |
外形尺寸(mm,L×W×H) | 540×470×300 |
4.ATLEX-S系列
ATLEX-S具备更小的尺寸，适合低-中负荷的应用。
增益介质 | ArF | KrF | |||
波长(nm) | 193 | 248 | |||
高压开关技术 | 固态开关 | ||||
最高脉冲能量(mJ) | 10 | 15 | |||
最高平均功率(W) | 2.4 | 4.0 | 4 | 6 | |
最高重频(Hz) | 300 | 500 | 300 | 500 | |
脉冲宽度(ns) | 5-8 | ||||
光束尺寸(mm) | 4×6 | ||||
光束发散角(mrad) | 1×2 | ||||
能量稳定性(rms) | 3% | ||||
外形尺寸(mm,L×W×H) | 630×400×300 | ||||
采用ArF、KrF作为增益介质，是产生大能量、重复频率输出的193nm、244nm激光输出的主要手段。短波长激光器对材料有良好的冷剥离能力，同时成像分辨率较高，广泛用于微加工、掩膜刻写、激光烧蚀等领域。
德国ATLLasertech公司成立于1993年，1994年生产出全球第一套准分子激光器；现在，ATL公司专业生产小型化、高重频、短脉冲准分子激光器。
主要应用：
※眼科手术
※玻璃及塑料微加工
※微制造
※激光剥蚀
※TOF质谱
※FBG刻写
ATL提供ATLEX、专用于FBG刻写的ATLEX-FBG系列，低负荷的ATLEX-LR系列，以及非常紧凑的ATLEX-S系列。产品采用一系列独到的设计以满足工业级应用需求。
主要特点
※软电晕预电离
※全固态高压脉冲发生器
※激光头容积<3L
※全金属-陶瓷管路
※集成真空泵及卤素过滤器
※全风冷，主动热管理
※RS485，RS232，USB以及光纤接口
※可冲洗光具座
※能量稳定模式
※能量稳定模式
1.ATLEX-I系列
ATLEX-I依据重复频率的不同，分为ATLEX-300-I、ATLEX-500-I、ATLEX-1000-I三个型号。
增益介质 | F2 | ArF | KrF | XeCl | XeF | |
波长(nm) | 157 | 193 | 248 | 308 | 351 | |
高压开关技术 | 固态开关 | |||||
最高脉冲能量(mJ) | 1 | 10 | 15 | 8 | 7 | |
最高平均功率(W) | ATLEX-300-I | 0.2 | 2.4 | 4.0 | 2.0 | 1.7 |
ATLEX-500-I | 0.5 | 4.0 | 6.5 | 3.0 | 2.5 | |
ATLEX-1000-I | N/A | 8 | 10 | N/A | N/A | |
最高重频(Hz) | ATLEX-300-I | 300 | ||||
ATLEX-500-I | 500 | |||||
ATLEX-1000-I | 1000 | |||||
脉冲宽度(ns) | 5-8 | |||||
光束尺寸(mm) | 4×6 | |||||
光束发散角(mrad) | 1×2 | |||||
能量稳定性(rms) | 3% | |||||
外形尺寸(mm,L×W×H) | 540×470×300 | |||||
2.ATLEX-FBG系列
ATLEX-FBG系列专为FBG刻写设计，具备较好的空间相干性指标。ATLEX-FBG共300、500两个型号。
增益介质 | ArF | KrF | |
波长(nm) | 193 | 248 | |
高压开关技术 | 固态开关 | ||
最高脉冲能量(mJ) | 10 | 15 | |
空间相干性(光斑竖直方向)(um) | >300 | ||
最高平均功率(W) | ATLEX-300-I | 2.4 | 4.0 |
ATLEX-500-I | 4.0 | 6.5 | |
最高重频(Hz) | ATLEX-300-I | 300 | |
ATLEX-500-I | 500 | ||
脉冲宽度(ns) | 5-8 | ||
光束尺寸(mm) | 4×6 | ||
光束发散角(mrad) | 1×2 | ||
能量稳定性(rms) | 3% | ||
外形尺寸(mm,L×W×H) | 540×470×300 | ||
3.ATLEX-LR系列
ATLEXLR系列适合低负荷使用，专门为激光剥蚀(LaserAblation)设计。激光为193nm输出优化，同时具有非常快的上升沿和高峰值功率。
增益介质 | ArF |
波长(nm) | 193 |
高压开关技术 | 固态开关 |
最高脉冲能量(mJ) | 12 |
能量稳定选项输出(mJ) | 10 |
脉冲宽度(ns) | 5 |
光束尺寸(mm) | 4×6 |
光束发散角(mrad) | 1×2 |
能量稳定性(rms) | 3% |
外形尺寸(mm,L×W×H) | 540×470×300 |
4.ATLEX-S系列
ATLEX-S具备更小的尺寸，适合低-中负荷的应用。
增益介质 | ArF | KrF | |||
波长(nm) | 193 | 248 | |||
高压开关技术 | 固态开关 | ||||
最高脉冲能量(mJ) | 10 | 15 | |||
最高平均功率(W) | 2.4 | 4.0 | 4 | 6 | |
最高重频(Hz) | 300 | 500 | 300 | 500 | |
脉冲宽度(ns) | 5-8 | ||||
光束尺寸(mm) | 4×6 | ||||
光束发散角(mrad) | 1×2 | ||||
能量稳定性(rms) | 3% | ||||
外形尺寸(mm,L×W×H) | 630×400×300 | ||||
